改良西門子法是用氯和氫合成氯化氫（或外購氯化氫），氯化氫和產(chǎn)業(yè)硅粉在一定的溫度下合成三氯氫硅，然后對三氯氫硅進(jìn)行分離精餾提純，提純后的三氯氫硅在氫還原爐內(nèi)進(jìn)行CVD反應(yīng)生產(chǎn)高純多晶硅。

    國內(nèi)外現(xiàn)有的多晶硅廠盡大部分采用此法生產(chǎn)電子級與太陽能級多晶硅。

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