本實用新型提供一種氯化氫氣體干燥裝置，其包括塔體，塔體頂部設有氯化氫氣體出口，底部設有氯硅烷液體出口，塔體上還設有氯化氫氣體進口、氯硅烷液體入口、以及冷媒入口和冷媒出口，氯化氫氣體進口處裝設有管道，所述管道在塔體內向下延伸，冷媒入口和冷媒出口設于塔體下部，冷媒入口和冷媒出口之間通過內盤管連通。本實用新型含水氯化氫經氯化氫氣體進口與氯硅烷液體入口噴入的氯硅烷充分接觸，使水分反應生成氯化氫。該裝置結構簡單、成本低、便于生產實施，且能夠達到脫水深度要求，將氯硅烷分離可得到純凈的氯化氫氣體。

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